关于滤光片镀膜
2014-8-23 15:30:09
1.靶材质量应能足够保证滤光片镀膜质量。
2.基片应与所镀产品的滤光片镀膜表面平行。
3.滤光片表面在镀膜前应清洗干净。
4.真空腔应时常清洁，保持真空环境的卫生。
5.稳定的真空度。
6.稳定的气体流量。
7.循环水能及时降温（主要是抽水泵能正常工作）。
8.腔内温度应自然冷却后才可以取出产品。
9.操作人员应及时通过监视窗口观察真空腔内部工作状况，阳极光线应明亮，若昏暗（此时辉度指示灯一般会闪烁）应及时查找原因。
10升降机在上升到可以打开密封盖时应及时停止。各种操作时使用的开关、旋（按）钮在使用完毕后应及时关闭或恢复到初始状态，防止下次使用时突然加电而导致烧坏仪器。
11.轴承等需要润滑的机械部位应该及时使用润滑剂。保证设备的正常使用，延长使用寿命，提高使用效率。
2.基片应与所镀产品的滤光片镀膜表面平行。
3.滤光片表面在镀膜前应清洗干净。
4.真空腔应时常清洁，保持真空环境的卫生。
5.稳定的真空度。
6.稳定的气体流量。
7.循环水能及时降温（主要是抽水泵能正常工作）。
8.腔内温度应自然冷却后才可以取出产品。
9.操作人员应及时通过监视窗口观察真空腔内部工作状况，阳极光线应明亮，若昏暗（此时辉度指示灯一般会闪烁）应及时查找原因。
10升降机在上升到可以打开密封盖时应及时停止。各种操作时使用的开关、旋（按）钮在使用完毕后应及时关闭或恢复到初始状态，防止下次使用时突然加电而导致烧坏仪器。
11.轴承等需要润滑的机械部位应该及时使用润滑剂。保证设备的正常使用，延长使用寿命，提高使用效率。
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