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关于修正板的切法赓旭光电

2013-12-7 20:30:03      
关于修正板的切法!
(1)使用拉线法将修正板划分为与盘上每一圈对应的区域。
(2)做单层,一般为550nm的3~7个极值。
(3).根据单层曲线找出一直列样品中每一圈的波峰(或波谷)的波长。           
(注:尽量选择接近控制波长的那组波峰或者波谷)
(4).选出一个基准波长,用每一圈的波峰(或波谷)波长减去基准波长,得到波长差值。
(注:基准波长尽量选取平均值,也可波峰或波谷最集中的区域,这样会减少修剪的圈数)
(5)根据波长差1nm、修剪1mm,“+”的补、“-”的剪的原则进行修剪。

(6)重复②~④,直至均匀性满足要求。


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