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光学薄膜材料在滤光片和其他薄膜中的应用

2015-8-4 17:48:24      

      滤光片是利用光学薄膜的光学特性,可形成防反射膜、增反射膜、选择吸收膜、选择透射膜、带通滤光片、分光片等,除了一部分选择吸收膜之外,上述薄膜一般是在玻璃或者塑料基板上,由介电物质形成单层或者多层膜,利用膜的干涉作用,获得需要的光透射或者反射特性。薄膜的的光学特性可以进行理论设计。



      光学薄膜泛指在光学器件或光电子元器 件表面用物理化学等方法沉积的、利用光 的干涉现象以改变其光学特性来产生增透、反射、分光、分色、带通或截止等光学现象的各类膜系。它可分为增透膜、高反膜、滤光膜、分光膜、偏振与消偏振膜等。光学薄膜的应用始于20世纪30年代。现代,光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。


基本原理:利用光线的干涉效应,当光线入射于不同折射系数物质所镀成的薄膜,产生某种特殊光学特性。



分类:光学薄膜就其所镀材料之不同,大体可分为金属膜和非金属膜。


a.金属膜:主要是作为反射镜和半反射镜用。在各种平面或曲面反射镜,或各式稜镜等,都可依所需镀上Al、Ag、Au、Cu等 各种不同的材料。不同的材料在光谱上有不同的特性。AI的反射率在紫外光、可见光、近红外光有良好的反射率,是镀反射镜最常使用的材料之一。Ag膜在可见光和近红外光部份的反射率比AI膜更高,但因其易氧化而失去光泽,只能短暂的维持高反射率,所以只能用在内层反射用,或另加保护膜
b.非金属膜:用途非常广泛,例如增透膜镜片.单一波长滤光片、长或短波长通过滤光片、热光镜、冷光镜、各种镭射射镜片等,都是利用多种不同的非金属材料,蒸镀在研磨好之镜杯上,层数由单层到数十、百层不等,视需要的不同,而有不同的设计和方法。目前这些薄膜中被应用得最广泛,最商业化,也是一般人接触到最多的,就是抗反射膜。例如眼镜、照相机镜头、显微镜等等都是在镜片上镀增透膜膜。因为若是不加以抗反射无法得到清晰明亮的影像了,因此如何增加其透射光线就是一个非常重要的课题。


高强度光学薄膜的主要特性是:
1,高的抗激光强度,即高抗激光损伤阈值;

2,低的光损耗,即 1-R-T 非常小。


采取了主要关键技术及技术途径如下:


1) 采用超光滑表面磨抛技术,改善基底表面粗糙度。
2) 利用离子源对基底表面进行离子清洗,有助于增加膜与基底的附着力,有助于去除基底表面的杂质。
3) 在膜系设计中传统的分析方法基础上,利用计算机膜系设计优化软件,设计出损耗低、利于制备、激光损伤阈值(LDT)高的膜系。
4) 采用激光预处理技术,能够使薄膜元件的 LDT 值大幅度提高。
5) 采用吸收测量方法,指导各项工艺研究 。薄膜抗激光损伤阈值≥1.5GW/CM 2 , (激光波长为1.064um,激光脉宽~10ns,1对1测试)

与镀膜技术密切相关的产业

镀膜眼镜、幕墙玻璃、滤光片、ITO膜、车灯、冷光镜、舞台灯光滤光片、光通信领域、DWDM、光纤薄膜器件、红外膜、投影显示